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1962年美國聯(lián)合碳化物公司(UCC)發(fā)現(xiàn)了分子篩對氣體的選擇性特性,并在實(shí)驗(yàn)設(shè)備上實(shí)現(xiàn)了對少數(shù)不同氣體的分離,隨即研制成功了世界上第一臺制氫工業(yè)裝置。隨著分子篩材料與工藝的不斷提升,七十年代中期美國和德國首先將PSA技術(shù)應(yīng)用于空氣分離并在化工領(lǐng)域得到應(yīng)用, 到八十年代中期化學(xué)工業(yè)的發(fā)展為分子篩性能的提高起到了關(guān)鍵作用,使設(shè)備小型化成為可能。1985年美國的Praxair公司研制的第一臺小型制氧機(jī)的問世標(biāo)志著PSA技術(shù)小型化的開始。九十年代初產(chǎn)品意義上的醫(yī)用制氧機(jī)開始出現(xiàn),美國材料實(shí)驗(yàn)學(xué)會(ASTM)于1993年頒 1布了醫(yī)用制氧機(jī)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范(F1464-1993),國際標(biāo)準(zhǔn)組織于1996年發(fā)布了醫(yī)用制氧機(jī)的安全性標(biāo)準(zhǔn)(ISO8359:1996)。從此,醫(yī)用分子篩制氧機(jī)在國外醫(yī)院得到廣泛應(yīng)用。

隨著醫(yī)用分子篩制氧機(jī)在國內(nèi)的引進(jìn)出現(xiàn), 為了規(guī)范醫(yī)用分子篩制氧機(jī)在我國醫(yī)院的應(yīng)用, 國家藥品管理局于1998年4月8日頒布了《YY/T0298—1998醫(yī)用分子篩制氧設(shè)備通用技術(shù)規(guī)范》,規(guī)范中明確規(guī)定醫(yī)用分子篩制氧設(shè)備的氧含量≥90%(mL/m1),并于2012年國家藥品管理局又頒布了WS1-XG-008-2012《富氧空氣(93%氧)質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)》，氧含量90.0%～96.0% (mL/m1)，之后國家住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部和國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局在2012年3月30日聯(lián)合發(fā)布了國家標(biāo)準(zhǔn)GB50751-2012《醫(yī)用氣體工程技術(shù)規(guī)范》，此國家標(biāo)準(zhǔn)再次對醫(yī)用分子篩制氧機(jī)的定義，并允許各類醫(yī)療機(jī)構(gòu)使用。